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光學(xué)微電子凈化工程目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)1藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。是將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別設(shè)計之密閉空間。
無塵車間潔凈室（區(qū)）與周圍的空間必須維持在一定的壓差，并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。1、不同等級的無塵車間潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa,潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa,潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。2、無塵車間潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風(fēng)量，根據(jù)潔凈室特點，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定3、送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖，正壓差潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)先啟動送風(fēng)機，再啟動回風(fēng)機和排風(fēng)機，關(guān)閉時聯(lián)鎖程序應(yīng)相反，負(fù)壓差潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反4、非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)，并應(yīng)進(jìn)行凈化空調(diào)處理。
無塵車間的溫濕度操縱由其生產(chǎn)工藝流程決策，但其精度另外也需看其屋子的尺寸比如計量檢定室、光纖傳感器刻線室、儀器儀表生產(chǎn)制造和裝配線車間等。前兩者都為小屋子，中央空調(diào)精度(這兒關(guān)鍵指溫濕度)規(guī)定高；后二者為很大的生產(chǎn)制造車間，溫濕度精度規(guī)定較低。因此其屋子尺寸也會決策恒溫恒濕設(shè)備車間的精度。無塵車間對溫濕度的操縱決取于其生產(chǎn)工藝流程。在考慮制作工藝的標(biāo)準(zhǔn)下，還應(yīng)當(dāng)充分考慮人的舒適度。由于流汗之后，對商品將有環(huán)境污染，非常是怕鈉的半導(dǎo)體材料車間，這類車間不適合超出25度。環(huán)境濕度過高造成的難題大量。相對濕度超出55%時，冷卻循環(huán)水壁厚上面冷凝水，假如產(chǎn)生在高精密設(shè)備或電源電路中，就會造成各種各樣安全事故。相對濕度在50%易銹蝕。
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